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G-TRAN系列　SAU壓力傳感器單元

大氣壓近旁(離子規(guī)壓力：-100kPa～10kPa）可以進(jìn)行高精度測量的采用半導(dǎo)體型薄膜素子的壓力傳感器單元。為了可以對(duì)應(yīng)高真空條件下的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的材質(zhì)，采用了SUS316L。

特點(diǎn)

愛發(fā)科真空計(jì)G-TRAN系列SAU 壓力傳感器單元?

• 理想大氣壓的確認(rèn) 　
  壓力基準(zhǔn)是使用離子規(guī)對(duì)應(yīng)，可以進(jìn)行高精度大氣壓測量
• 為了對(duì)應(yīng)高真空的連續(xù)使用
  采用了半導(dǎo)體型薄膜素子（SUS316L），可以對(duì)應(yīng)高真空連續(xù)使用
• 測定值輸出信 　
  壓力在標(biāo)準(zhǔn)裝備下輸出DC 0～5V的Log
• 驅(qū)動(dòng)電源 　
  對(duì)應(yīng)范圍廣DC12～24V
• 弧齒耦合器相互對(duì)應(yīng)
  端口，采用NW16

用途

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• 以太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體，電子部品為主的各種高真空裝置的大氣壓確認(rèn)用
• 以真空爐為主的各種產(chǎn)業(yè)用真空裝置的大氣壓確認(rèn)用
• 離子規(guī)壓力：-100kPa～10kPa（壓力：10⁺⁴～10⁺⁵Pa）情況下高精度測量真空裝置用

規(guī)格

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